Aufbereitungsvorrichtung für ein Chemisch-Mechanisches Planarisierungskissen
EP2684211
Art B1
18. Januar 2017
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2684211
- Aktenzeichen
- EP12754519
- Anmeldetag
- 6. März 2012
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2017
- Erteilung
- 18. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B53/017
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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