Verfahren zur Herstellung einer Reflektierenden Optischen Komponente für ein Euv-Projektionsbelichtungsgerät und Komponente Dieser Art

EP2686133 Art B1 19. Mai 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Laser Optics GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2686133
Aktenzeichen: EP12708143
Anmeldetag: 13. März 2012
Veröffentlichung: 19. Mai 2021
Erteilung: 19. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/10G02B5/18G02B5/08B24B13/00G02B5/10G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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