Nach dem chemisch-mechanischen Polieren kupferpassivierende Reinigungszusammensetzung und Verwendungsverfahren

EP2687589 Art A3 7. Mai 2014

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Schwerpunkte

Medizintechnik & Gesundheit Organische Chemie Pharma & Biotechnologie Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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