Verfahren zur Herstellung eines Hohlraums durch anisotropisches Entfernen von Material von einem Substrat
EP2688091
Art B1
16. März 2016
Anmelder: IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2688091
- Aktenzeichen
- EP12176910
- Anmeldetag
- 18. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 16. März 2016
- Erteilung
- 16. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302H01L21/306B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
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Clerix, André
Leuven, Belgien
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