Vorläufer für GST-Filme in ALD/CVD-Verfahren

EP2698373 Art B1 19. September 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2698373
Aktenzeichen: EP13180256
Anmeldetag: 13. August 2013
Veröffentlichung: 19. September 2018
Erteilung: 19. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C07F9/90C07F9/94C07C395/00C23C16/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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