Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung eines Halbleiterwerkstückes

EP2698818 Art B1 28. Oktober 2020

Anmelder: SPTS Technologies Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2698818
Aktenzeichen
EP13179849
Anmeldetag
9. August 2013
Veröffentlichung
28. Oktober 2020
Erteilung
28. Oktober 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67C23C14/34C23C16/455H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SPTS Technologies Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Lambert, Ian Robert Manchester, Großbritannien
236
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung
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