Netzwerkarchitektur und Protokoll für einen Cluster von Lithografiegeräten

EP2700081 Art B1 2. November 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2700081
Aktenzeichen: EP12719948
Anmeldetag: 23. April 2012
Veröffentlichung: 2. November 2022
Erteilung: 2. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317G03F7/20G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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