Laserinduzierte Abscheidung auf einer Keimschicht

EP2703520 Art A1 5. März 2014

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2703520
Aktenzeichen
EP13182113
Anmeldetag
29. August 2013
Veröffentlichung
5. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/02C23C16/04C23C16/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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