Verfahren zur Untersuchung und Korrektur von Aberrationen in einem Linsensystem mit geladenen Teilchen
EP2704177
Art B1
26. November 2014
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2704177
- Aktenzeichen
- EP12182874
- Anmeldetag
- 4. September 2012
- Veröffentlichung
- 26. November 2014
- Erteilung
- 26. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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28
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4
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