Flare Effekt Berechnung und Kompensation in der Euv-Lithographie

EP2705526 Art B1 22. Juni 2016

Anmelder: Synopsys, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2705526
Aktenzeichen: EP12779887
Anmeldetag: 1. Mai 2012
Veröffentlichung: 22. Juni 2016
Erteilung: 22. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G03F1/00G03F1/84G03F1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Synopsys, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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