Waferbehälter mit Partikelabschirmung
EP2705528
Art A2
12. März 2014
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2705528
- Aktenzeichen
- EP12779890
- Anmeldetag
- 3. Mai 2012
- Veröffentlichung
- 12. März 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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