Zusammensetzung zur Bildung einer ferroelektrischen Dünnschicht, Verfahren zur Dünnschichtbildung und mit dem besagten Verfahren gebildete Dünnschicht

EP2706049 Art A1 12. März 2014

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2706049
Aktenzeichen: EP13182908
Anmeldetag: 4. September 2013
Veröffentlichung: 12. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C04B35/472H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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