Verfahren zur übereinstimmenden Ausrichtung eines Laserstrahls und eines Ladungsträgerstrahls
Anmelder: FEI Company, FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2706556
- Aktenzeichen
- EP13183272
- Anmeldetag
- 6. September 2013
- Veröffentlichung
- 31. Mai 2017
- Erteilung
- 31. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/22H01J37/304H01J37/305
Abstract
A method and apparatus for aligning a laser beam (216) coincident with a charged particle beam (350). The invention described provides a method for aligning the laser beam through the center of an objective lens (214) and ultimately targeting the eucentric point of a multi-beam system (300). The apparatus takes advantage of components of the laser beam alignment system being positioned within and outside of the vacuum chamber (360) of the charged particle system.
Anmelder
- Firmen
- FEI Company
FEI COMPANY - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven