Verfahren zur Bestimmung des lokalen Widerstands und der Ladungsträgerkonzentration mit einem Aufbau zur abtastenden Messung des Ausbreitungswiderstands
EP2706560
Art B1
22. November 2017
Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2706560
- Aktenzeichen
- EP13182955
- Anmeldetag
- 4. September 2013
- Veröffentlichung
- 22. November 2017
- Erteilung
- 22. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01Q60/30// B82Y35/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
IMEC - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Clerix, André
Leuven, Belgien
89
Patente gesamt
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2
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Schwerpunkte
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