Verfahren zur Durchführung von Tomographiebildgebung einer Probe in einem Mikroskop mit geladenen Teilchen

EP2708875 Art B1 24. August 2016

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2708875
Aktenzeichen
EP13183631
Anmeldetag
10. September 2013
Veröffentlichung
24. August 2016
Erteilung
24. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244G01N23/04G01N23/225H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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