Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Graphenmusters Mithilfe eines Delaminationsverfahrens

EP2709141 Art B1 21. März 2018

Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology, Korea Research Institute Of Chemical Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2709141
Aktenzeichen
EP12786200
Anmeldetag
10. Mai 2012
Veröffentlichung
21. März 2018
Erteilung
21. März 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Korea Research Institute of Chemical Technology
Korea Research Institute Of Chemical Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Research Institute of Chemical Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.

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