Verfahren zum zumindest bereichsweisen Einebnen einer Textur einer Halbleiterstruktur

EP2709161 Art A3 30. April 2014

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2709161
Aktenzeichen: EP13181690
Anmeldetag: 26. August 2013
Veröffentlichung: 30. April 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/0236H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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