Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Schichtsystems
Anmelder: Maschinenfabrik Reinhausen GmbH, Reinhausen Plasma GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2711441
- Aktenzeichen
- EP13184028
- Anmeldetag
- 12. September 2013
- Veröffentlichung
- 2. August 2017
- Erteilung
- 2. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C4/134B05B7/22B05B12/14C23C4/01
Abstract
Zur Verbesserung der Variabilität bei der Beschichtung von Substraten (12) wird eine Beschichtungsvorrichtung (10) vorgeschlagen, die eine Plasmaerzeugungsvorrichtung zur Erzeugung eines Plasmastrahls (22) aufweist, der aus einem Beschichtungskopf (26) der Plasmaerzeugungsvorrichtung austritt. Es sind ein erstes Partikelreservoir (14) und ein zweites Partikelreservoir (16) vorgesehen. Über eine Transportleitung (24) werden die Partikel aus dem ersten Partikelreservoir (14) und dem zweiten Partikelreservoir (16) als Partikelgemisch dem Plasmastrahl (22) zugeführt. Es ist eine Dosiervorrichtung (18) zum dosieren der Menge der aus dem ersten Partikelreservoir (14) in die Transportleitung (24) eingebrachten Partikel relativ zu der Menge der aus dem zweiten Partikelreservoir (16) stammenden Partikel vorgesehen.
Anmelder
- Firmen
- Maschinenfabrik Reinhausen GmbH
Reinhausen Plasma GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Maschinenfabrik Reinhausen ist ein deutscher Hersteller von Komponenten für Transformatoren mit Sitz in Regensburg, bekannt für Stufenschalter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie elektrische Energietechnik, ergänzt um Mess- und Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Reichert & Lindner Partnerschaft Patentanwälte
Reichert & Lindner Partnerschaft Patentanwälte · Regensburg