MEMS-Resonatordrucksensor
Anmelder: ams International AG, ams international AG, NXP B.V. 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2711677
- Aktenzeichen
- EP12185960
- Anmeldetag
- 25. September 2012
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2019
- Erteilung
- 13. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00G01L19/00G01L11/04B81C1/00
Abstract
A resonant MEMS pressure sensor in which the resonator mass of the MEMS resonator is anchored both to the fixed base beneath the resonator cavity as well as to the top membrane over the resonator cavity. This provides a more robust fixing of the resonator mass and offers a dependence of resonant frequency on the pressure outside the cavity.
Anmelder
- Firmen
- ams International AG
ams international AG
NXP B.V. - Land
- 🇨🇭 Schweiz
Ams International ist die schweizerische Konzerneinheit von ams OSRAM, einem Hersteller von Sensoren und optischen Halbleiterkomponenten. Der Anmelder konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Elektronik, Nachrichtentechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2009 bis in die Gegenwart.
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Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
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Fachgebiete
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Epping - Hermann - Fischer
Epping - Hermann - Fischer · München