Substrat, Verfahren zu dessen Herstellung, und System und Verfahren zur Ex-situ-Analyse des Substrats mittels TEM, STEM, oder SEM
EP2711684
Art A3
22. Juli 2015
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2711684
- Aktenzeichen
- EP13185853
- Anmeldetag
- 25. September 2013
- Veröffentlichung
- 22. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N1/32H01J37/20H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven