Raster-Elektronenmikroskop

EP2711967 Art B1 28. Januar 2015

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2711967
Aktenzeichen: EP13185379
Anmeldetag: 20. September 2013
Veröffentlichung: 28. Januar 2015
Erteilung: 28. Januar 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/04H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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