Bearbeitungseinheits-Steuerungsvorrichtung, Bearbeitungsroboter, Bearbeitungseinheits-Steuerverfahren, und Bearbeitungseinheits-Steuerprogramm

EP2712715 Art A3 13. Januar 2016

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2712715
Aktenzeichen: EP13162142
Anmeldetag: 3. April 2013
Veröffentlichung: 13. Januar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: B25J9/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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