Optische Bildgebungseinheit

EP2715452 Art B1 16. Dezember 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2715452
Aktenzeichen: EP12724117
Anmeldetag: 24. Mai 2012
Veröffentlichung: 16. Dezember 2020
Erteilung: 16. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B17/06G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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