Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung eines Objekts
EP2715767
Art B1
8. Mai 2019
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2715767
- Aktenzeichen
- EP12725622
- Anmeldetag
- 25. Mai 2012
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2019
- Erteilung
- 8. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/244H01J37/304G01Q10/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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