Ätzen von Blockcopolymeren
EP2717296
Art B1
31. August 2016
Anmelder: IMEC, Tokyo Electron Limited 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2717296
- Aktenzeichen
- EP12187058
- Anmeldetag
- 2. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 31. August 2016
- Erteilung
- 31. August 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/033H01L21/311B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Wauters, Davy Erik Angelo
Boortmeerbeek, Belgien
164
Patente gesamt
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Fachgebiete
7
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