Verfahren zum Plasmasätzen

EP2717298 Art B1 2. Dezember 2020

Anmelder: SPTS Technologies Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2717298
Aktenzeichen
EP13275243
Anmeldetag
3. Oktober 2013
Veröffentlichung
2. Dezember 2020
Erteilung
2. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065// H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SPTS Technologies Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Lambert, Ian Robert Manchester, Großbritannien
236
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung
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