Rotierende Sputtertarget-Anordnung

EP2718477 Art A1 16. April 2014

Anmelder: Praxair Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2718477
Aktenzeichen
EP12727075
Anmeldetag
7. Juni 2012
Veröffentlichung
16. April 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34H01J37/34B21D39/04B21C37/15
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Praxair Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Praxair Technology

US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.

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