Zusammensetzung zum Chemisch-Mechanischen Polieren (cmp) für Anwendungen für Flache Grabenisolation (sti) und Verfahren zur Herstellung davon

EP2722873 Art B1 4. August 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2722873
Aktenzeichen: EP13189440
Anmeldetag: 18. Oktober 2013
Veröffentlichung: 4. August 2021
Erteilung: 4. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/3105C09G1/02C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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