Beleuchtungssteuerung

EP2724361 Art B1 27. Dezember 2023

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2724361
Aktenzeichen
EP12803940
Anmeldetag
7. Juni 2012
Veröffentlichung
27. Dezember 2023
Erteilung
27. Dezember 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G01J1/42G02B26/08G02B21/00G02B21/08G02B21/36
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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