Drucksensor mit einer Membrane und Herstellungsverfahren dafür
Anmelder: Invensense, Inc., Sensirion AG 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2725334
- Aktenzeichen
- EP12007333
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 15. April 2020
- Erteilung
- 15. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00
Abstract
A pressure sensor, particularly an absolute pressure sensor, and methods for manufacturing the pressure sensor are described with the sensor having a deformable membrane (21) providing a separation between a cavity, which for an absolute pressure measurement is kept at an essentially constant pressure, and a port open to the outside of the sensor, with the cavity having a measuring chamber with an associated sensing device to transfer the response of the deformable membrane (21) to the pressure at the port into a signal capable of being processed by a processing circuit being mounted onto a substrate (10) with the sensor being formed essentially from a stack of at least three layers with a first layer (1) including the substrate and the processing circuit, the second layer(2) the membrane and the third layer (3) being a thick protective layer adapted for use as a handling layer and having the port through it.
Anmelder
- Firmen
- Invensense, Inc.
Sensirion AG - Land
- 🇺🇸 USA
InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.
298 Patente in unserer Datenbank
Sensirion ist ein Schweizer Hersteller von Umwelt- und Durchflusssensoren mit Sitz in Stäfa. Das Patentportfolio ist stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik fokussiert, ergänzt durch Halbleiterbauelemente und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis in die Gegenwart.
339 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kilburn & Strode wurde 1906 in London gegründet und war die erste europäische Patent- und Markenkanzlei, deren Anwälte in Kalifornien als Foreign Legal Consultants zugelassen wurden. Präsenzen bestehen zudem in den Niederlanden, München sowie San Francisco und Boston.
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Toleti, Martin
E. Blum & Co. AG · Zürich