Messung einer Kritischen Dimension
EP2726849
Art B1
1. Juni 2022
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2726849
- Aktenzeichen
- EP12806995
- Anmeldetag
- 12. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 1. Juni 2022
- Erteilung
- 1. Juni 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/55G01N21/21G01J3/42G01J3/02G01B11/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin