Multisäulen-Elektronenstrahlvorrichtung und Verfahren
EP2727129
Art B1
5. April 2017
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2727129
- Aktenzeichen
- EP12804024
- Anmeldetag
- 26. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 5. April 2017
- Erteilung
- 5. April 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/06H01J37/10H01J37/14H01J37/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin