Ätzschutzopferschichten zur Wiederverwendung von Wafern nach der Epitaxialschichtanhebung
EP2727140
Art B1
27. März 2019
Anmelder: The Regents Of The University Of Michigan 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2727140
- Aktenzeichen
- EP12823181
- Anmeldetag
- 28. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 27. März 2019
- Erteilung
- 27. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/78H01L31/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Regents Of The University Of Michigan
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
The Regents of the University of Michigan
Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.
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Kanzlei
Oxon IP B.V.
Oxon IP ist eine auf Patentrecht spezialisierte Kanzlei mit Büros in Amsterdam und London, fokussiert auf Verfahren vor dem Europäischen Patentamt, insbesondere Einspruchs- und Beschwerdeverfahren.
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Finnegan Europe LLP · London