Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absorption bei einem Zuschnitt

EP2729788 Art B1 9. Dezember 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2729788
Aktenzeichen: EP12729925
Anmeldetag: 12. Juni 2012
Veröffentlichung: 9. Dezember 2020
Erteilung: 9. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/17G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von