Waferinspektion

EP2732272 Art B1 8. April 2020

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2732272
Aktenzeichen
EP12811849
Anmeldetag
10. Juli 2012
Veröffentlichung
8. April 2020
Erteilung
8. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/88H01L21/66G01N21/47G01N21/95G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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