Ätzverfahren unter Verwendung von Blockcopolymeren
EP2733533
Art B1
28. Februar 2018
Anmelder: IMEC VZW, Tokyo Electron Limited, IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2733533
- Aktenzeichen
- EP13189664
- Anmeldetag
- 22. Oktober 2013
- Veröffentlichung
- 28. Februar 2018
- Erteilung
- 28. Februar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
Tokyo Electron Limited
IMEC - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
828 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Ego, Christophe
Boortmeerbeek, Belgien
20
Patente gesamt
8
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte