Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Dünnschicht

EP2733723 Art B1 1. April 2015

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2733723
Aktenzeichen: EP13193249
Anmeldetag: 18. November 2013
Veröffentlichung: 1. April 2015
Erteilung: 1. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/316H01L41/39H01L49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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