Herstellungsverfahren einer Epitaktischen Siliciumcarbidwafer

EP2735630 Art B1 7. April 2021

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2735630
Aktenzeichen: EP12814185
Anmeldetag: 12. Juli 2012
Veröffentlichung: 7. April 2021
Erteilung: 7. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/36C23C16/42C30B25/20H01L21/205C30B25/02H01L21/02C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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