Verfahren zur Bildung von Mustern mit Unterschiedlich Dotierten Regionen

EP2740149 Art B1 20. Mai 2020

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2740149
Aktenzeichen
EP12750718
Anmeldetag
1. August 2012
Veröffentlichung
20. Mai 2020
Erteilung
20. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/225H01L31/18H01L21/02H01L31/068
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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