Organische Rutheniumverbindung für ein Cvd-Rohmaterial und Verfahren zur Herstellung Dieser Organischen Rutheniumverbindung

EP2740816 Art B1 4. Mai 2016

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2740816
Aktenzeichen: EP12819564
Anmeldetag: 24. Juli 2012
Veröffentlichung: 4. Mai 2016
Erteilung: 4. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18H01L21/28H01L21/285C07F15/00C01G55/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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