Verfahren zur Verarbeitung eines Werkstückes in einer Vakuumkammer

EP2741075 Art B1 4. Mai 2016

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2741075
Aktenzeichen
EP13195225
Anmeldetag
2. Dezember 2013
Veröffentlichung
4. Mai 2016
Erteilung
4. Mai 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/225
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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