Probenpositionierungsvorrichtung,Teilchenstrahlsystem und Probenhalter

EP2741311 Art B1 21. Februar 2018

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2741311
Aktenzeichen: EP13196544
Anmeldetag: 10. Dezember 2013
Veröffentlichung: 21. Februar 2018
Erteilung: 21. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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