Laser mit Hoher Qualität und Stabilem Ausgangsstrahl sowie Langlebiger Nichtlinearer Kristall mit Hoher Umwandlungseffizienz

EP2742570 Art B1 8. August 2018

Anmelder: Kla-tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2742570
Aktenzeichen
EP12816820
Anmeldetag
28. Juni 2012
Veröffentlichung
8. August 2018
Erteilung
8. August 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/098H01S3/109G02F1/37G01N21/88
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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