Endeffektorvorrichtung und Substrattransportroboter mit Dieser Endeffektorvorrichtung

EP2743975 Art A1 18. Juni 2014

Anmelder: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2743975
Aktenzeichen: EP12822878
Anmeldetag: 9. August 2012
Veröffentlichung: 18. Juni 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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