Verfahren zum Herstellen einer integrierten Halbleitersubstratstruktur

EP2743981 Art A1 18. Juni 2014

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2743981
Aktenzeichen: EP14157354
Anmeldetag: 30. Oktober 2009
Veröffentlichung: 18. Juni 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L27/06H01L21/8252H01L21/8258

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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