Spektralbildgebungsvorrichtung und Verfahren zur Kalibrierung davon

EP2746740 Art B1 8. Mai 2019

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2746740
Aktenzeichen
EP13198964
Anmeldetag
20. Dezember 2013
Veröffentlichung
8. Mai 2019
Erteilung
8. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01J3/02G01J3/26G01J3/28G01J3/36G01B7/06G01R27/26H01L27/146
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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