Sondenvorrichtung

EP2746794 Art B1 5. Oktober 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2746794
Aktenzeichen: EP12833723
Anmeldetag: 30. Juli 2012
Veröffentlichung: 5. Oktober 2016
Erteilung: 5. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28H01L21/66G01R1/067G01R1/04

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von