Ionisationspumpstufe
EP2747123
Art B1
6. März 2019
Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2747123
- Aktenzeichen
- EP13191365
- Anmeldetag
- 4. November 2013
- Veröffentlichung
- 6. März 2019
- Erteilung
- 6. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J41/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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