Suszeptor

EP2748843 Art B1 4. Januar 2023

Anmelder: SK Siltron Co., Ltd., LG Siltron Inc. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2748843
Aktenzeichen: EP12827558
Anmeldetag: 22. August 2012
Veröffentlichung: 4. Januar 2023
Erteilung: 4. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L21/205C23C16/458H05B6/80F17D3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SK Siltron Co., Ltd.
LG Siltron Inc.
Land: 🇰🇷 Südkorea

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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