Verfahren zur Vorbereitung von Proben für Bildgebung

EP2749863 Art A3 4. Mai 2016

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2749863
Aktenzeichen
EP13197357
Anmeldetag
16. Dezember 2013
Veröffentlichung
4. Mai 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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